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產(chǎn)品名稱： 等離子清洗機

描述：雅馬拓等離子清洗機V1000：13.56MHz高頻輸出的等離子清洗儀器，搭載RIE·DP雙模式。

更新時間：2024-06-15
產(chǎn)品型號：V1000
產(chǎn)品廠地：上海市
訪問次數(shù)：1151

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產(chǎn)品介紹

雅馬拓等離子清洗機V1000產(chǎn)品特點：

■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗儀器，可對應更多復雜工藝.
●標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為accurate。
●液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單。
■安全性·保護
●標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
●發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調(diào)低頻率來保護發(fā)生器。
●門鎖開關：門在未*關閉時無法啟動電源。
●側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。
●緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
●當裝置發(fā)生異常時，裝置本體發(fā)出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警
■產(chǎn)品優(yōu)勢
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構造提高等離子處理效果。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有機物去除。
●界面活性處理。
●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機V1000產(chǎn)品參數(shù)：

型號		V1000
方式		DP&RIE雙模標準裝備
性能	發(fā)生器功率：	0-1000W
	發(fā)生器頻率：	射頻RF13.56Mhz
	發(fā)生器匹配方式：	自動匹配（Automatching)
構成	腔體材質(zhì)：	鋁制腔體
	腔體內(nèi)尺寸：	400×400×384mm約61.4L
	電極尺寸：	300mm×300mm
	反應氣體：	雙路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體
	填充氣體：	一路氮氣
	控制方式：	全自動控制，5.7寸液晶觸摸屏
	真空度顯示：	測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內(nèi)真空度
	配管材質(zhì)：	SUS不銹鋼以及特氟龍
	門：	鉸鏈門
	涂裝顏色：	標準色，白系
	外形尺寸：	W700×D800×H1600mm（高度含警報燈）
	真空泵：	無油干式真空泵抽速100m³/hour，吸氣口NW40,排氣口NW25
	電源規(guī)格：	3phaseAC200V50/60Hz8A
	重量：	約215kg
附屬品		真空管件一套、真空轉接接頭一套

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